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南京埃米仪器科技有限公司
标签:芯片制造高精密量测设备研发商  
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南京埃米仪器科技有限公司
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埃米仪器是一家芯片制造高精密量测设备研发商,专注于研发和生产用于芯片制造的纳米/亚纳米级三维结构高精密高速量检测装备,致力于国内高精密3D量测设备的国产化。其产品聚焦芯片制造过程中晶圆表面粗糙度、CMP轮廓、光刻及刻蚀中的三维结构等关键指标的在线检测和量测,主要应用于芯片制程中的微结构量测和缺陷检测,解决相关领域的卡脖子技术。
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